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机译:磁控溅射制备氧氮化钽薄膜的性能:工艺参数的影响
Cristea, D.; Constantin, D. G.; Crisan, A.; Abreu, C. S.; Gomes, J. R.; Barradas, N. P.; Alves, E.; Moura, C.; Vaz, F.; Cunha, L.;
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